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1、亂流式。空氣由空調箱經風管與潔淨室內之空氣過濾器(HEPA)進入潔淨室,並由潔淨室兩側隔間牆板或高架地板回風。氣流非直線型運動而呈不規則之亂流或渦流狀態。此型式適用於潔淨室等級1,000-100,000級。

2、層流式。層流式空氣氣流運動成一均勻之直線型,空氣由覆蓋率....之過濾器進入室內,並由高架地板或兩側隔牆板回風。此型式適用於潔淨室等級需定較高的環境使用,一般其潔淨室等級為Class1~100。

3、複合式。複合式為將亂流式及層流式予以複合或並用,可提供局部超潔淨之空氣。

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